潔凈室（俗稱凈化間）是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子，室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)溫度、濕度、壓力等按照要求進行控制。潔凈室以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度。
環(huán)境指的是無塵車間或無塵室，無塵室（或車間）的幾個基本要素是：溫度，濕度，風速，潔凈度（又稱含塵量）。溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的空間。
按空氣中懸浮粒子濃度來劃分。一般來說，數(shù)值越小，代表凈化級別越高。即十級＞百級＞千級＞萬級＞十萬級＞三十萬級＞百萬級。
通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高，含塵濃度高則空氣潔凈度低。以每立方米空氣中的允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級。
一
百級潔凈室標準
100級潔凈間的氣流形式是層流方式,空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動,與流體力學的層流概念不太相同,具體講就是垂直層流回風。和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較,它具有效果、運轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、粉塵堆集與再漂浮極少,以及管理容易等優(yōu)點,但是設(shè)備造價非常高,維護費用也很高。
01
潔凈度
粒徑大于等于0.1微米的微粒數(shù)不能大于100個。
02
壓差及溫濕度
溫度22℃±2;濕度55%±5;基本需要滿布ffu,做高架地板。做mau+ffu+dc系統(tǒng)。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
03
照度
由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細的要求,而且又都是密閉性房屋,所以,對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點：
局部照明:這是指為増加某一地點的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨使用局部照明。
混合照明:指工作面上的照度由一照明和局部照明合成照明,其中,一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
二
千級潔凈室標準
要了解千級潔凈室,我們先來了解“無塵”這個概念。按照國際慣例,無塵凈化別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非99%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
01
潔凈度
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1k級別。
02
壓差及溫濕度
對于大部分凈化無塵車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種隙時的阻力。
溫濕度:常規(guī)是溫度22±2度,濕度55%±5。
三
萬級潔凈室標準
世界各國均有自定規(guī)格，但遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【federal standard(fs)209e,19921.可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5um,例如,1級10級、100無塵室塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5um,無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2pm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
01
潔凈度
潔凈度10000級cleanliness class10000(p2萬級實驗室即s07級)即大于等于0.5um的塵粒數(shù)大于35000粒/m3(35粒/)到小于等于35000粒/m3(350粒/于等于5um的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒)到小于等于3000粒/m3(3粒壓差及溫濕度控制。
02
溫度
干盤管系統(tǒng)控制。
03
濕度
空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量。
04
正壓
空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風量。
05
檢測標準
氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
a.室內(nèi)潔凈度的檢測
潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數(shù)器檢測。
b.自凈時間的檢測
通過確定自凈時間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
c.照度的檢測
照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
d.振動的檢測
振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
e.溫、濕度的檢測
溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內(nèi)空氣相對溫度,檢測回風溫度。
四
10萬級凈化車間標準
10萬級凈化車的潔凈度算起來并不算太高,包括一般的電子,食品飲料,醫(yī)療器械化妝品廠等。
01
潔凈度
100000(10萬)級潔凈室是指工作車間里面每立方米的微粒控制在10w以內(nèi)潔凈室的生產(chǎn)車間主要應(yīng)用于電子行業(yè)和藥品行業(yè),食品行業(yè)如果有10萬級的生產(chǎn)車間是相當不錯的。10000(10萬)級潔凈室要求每小時換氣15-19次,換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。
02
壓差
相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要5pa,潔凈室與非潔凈室之間要＞10pa。
03
溫濕度
十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度般控制在冬季20~22℃夏季24~26℃c波動±2c。冬季潔凈室濕度控制在30-50%夏季潔凈室濕度控制在50-70%。照度潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜>300lx:輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣室、走廊等的照度值宜為200~300l。
04
送風量或風速
足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當潔凈室凈高較高時,適當增加換氣次數(shù)。當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時,可適當提高換氣次數(shù)10-20%.
五
30萬級凈化車間標準
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級,就是以每立方米空氣中的允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級藥廠房一般有萬級,十萬級和三十萬級,其中以十萬級(灌裝,內(nèi)包裝)及三十萬級最多,十萬級較三十萬級潔凈度衛(wèi)生要嚴格很多。
01
潔凈度
每立方米大于或等于0.5um的塵粒最多不能超過10,500,000個;每立方米大于或等于5um的塵粒最多不能超過60,000個;每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過1000個。
02
壓差及溫度控制
壓差:不同潔凈級別室(區(qū))之間,靜壓差大于或等于5pa;潔凈室(區(qū))與室外,靜壓差大于或等于10pa。
溫濕度:溫度一18~28℃;濕度一-45~65%。換氣次數(shù):每小時換氣次數(shù)不能小于12次。
六、百萬級化車間標準
潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進行劃分的等級標準。
01潔凈室的空氣潔凈度測試
空態(tài)測試：潔凈室已竣工,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài),工藝設(shè)備已安裝,室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。
動態(tài)測試：潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
百萬級空氣潔凈度標準每立方米大于等于0.5um的塵粒數(shù)不能大于3520000個;每立方米大于等于1um的塵粒數(shù)不能大于832000每立方米大于等于5um的塵粒數(shù)不能大于293000。
02送風量或風速
足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當潔室凈高較高時,適當增加換氣次數(shù)。其中,100萬級潔室的通風量是按高中效浄化系統(tǒng)考慮,其余均按高效浄化系統(tǒng)考慮。
一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、高效過濾三個過濾段（甚至還有超高效過濾器，四段過濾）。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化，重復這樣的一系列過程，即可達到凈化的目的。
是否需要做凈化工程，取決于你的工廠生產(chǎn)類型；而你的無塵車間做到什么凈化潔凈度，也是根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求，合適就好。
關(guān)鍵詞：無塵車間 芯片 變頻器 高效過濾器 凈化工程